Фероелектрични оксиди върху силиций за нови сензорни устройства

Предложеният проект ще даде нова перспектива за израстването и характеризирането на безоловни фероелектрични оксиди с висок пиезоелектричен и пироелектричен коефициент върху силиций, произведени по технология, съвместима с технологията на интегралните схеми и при по-ниски температури от епитаксията. Освен това, той ще разкрие възможности за проектиране, реализиране и тестване на по-ефективни устройства с по-високи резонансни честоти и подобрени сензорни свойства. Предимството е, че реакцията на устройството може да бъде комбинирана от типа "двe в едно" - реагиране при промяна топлинната енергия и/или при промяна в кинетичната енергия - поради комбинираните пиро- и пиезоелектрически свойства на използваните материали. По този начин може да се произведе мултисензорно устройство. Фундаменталният характер на проекта се засилва и от възможността да се изучи начинът за диференциране на двата ефекта, когато те се проявят едновременно. Мотивацията за този проект е да се осъществи подобрение в интеграцията и микропроизводството на безоловни фероелектрични тънки слоеве като ZnO, легиран с Ga, BaTiO3, легиран със SrО и калиев ниобат KNbO3, върху силициеви пластини, конзоли и мембрани за подобряване на тяхната ефективност и производителност в нови сензорни устройства.